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在工业生产中,大部分机械零部件都是依靠润滑油来降低相对运动表面的摩擦和磨损,合理的油膜厚度是决定机械设备正常工作的一个关键因素。因此,实时检测关键部件的油膜厚度,可以在机械零件失效前发出预警,从而保障机器正常运行。相较于其他的油膜厚度测量方法,超声波测量法对介质的透明度和电隔离性质没有限制,且超声波具有穿透力强、频率高等特点,因此具有更为广泛的应用前景。本文对三层介质结构的超声测厚系统的关键技术进行了研究,包括了AlN压电薄膜传感器的制备、超声波发射和接收硬件电路的理论研究及设计制作。(1)基于声波