微放电是放电被限制在微小空间的放电形式,微电极结构在现代微电子和MEMS器件中广泛存在,一般有微电极间隙和微通道放电两种。微放电与常规气体放电有着不相同的特性。本文研究放电通道被局限在微小区域的微放电特性。通过在介质板之间构建微小间隙的线电极结构,实验测试它在直流电压激励下空气放电的特性,得到了微通道放电的击穿电压、伏安特性曲线与电极线径(或介质板间距)、空气气压的关系,并与单层介质表面的线-线电极放电和空间线-线电晕放电进行了比较。结果表明:微小间隙介质层之间的放电击穿电压明显高于单层介质层表面和空间电晕的击穿电压,但其伏安特性与空间电晕放电相似;随着电极线径(介质板间距)的增大,气体的击穿电压呈现增大的趋势;在相同电极条件下,击穿电压随着空气气压的升高而增大。通过对微通道影响放电机制的分析,发现介质表面和电晕电极的双重效应决定其放电特性。