【摘 要】
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本文采用微纳偏振敏感阵列模拟沙蚁复眼的构想,仿造沙蚁复眼结构设计制作微型偏振器,使具有高灵敏度、高精度、低功耗、微体积的仿生视觉传感器的研制成为可能。主要研究内容为
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本文采用微纳偏振敏感阵列模拟沙蚁复眼的构想,仿造沙蚁复眼结构设计制作微型偏振器,使具有高灵敏度、高精度、低功耗、微体积的仿生视觉传感器的研制成为可能。主要研究内容为金属光栅偏振器的设计仿真与偏光膜的制作测试,这两种偏振器件的研究为微纳导航系统的实现奠定了基础。 针对仿生微纳导航系统敏感波段0.52-0.59μm的要求,基于严格耦合波理论及Gsolver软件对金属光栅偏振器的结构进行设计并优化。分析了不同光栅材料、光栅面型及光栅结构参数对TM偏振透射率及透射消光比的影响,确定了最优的光栅结构参数。所设计的光栅与传统金属光栅不同之处在于基底和光栅之间增加了氟化镁介质,在垂直入射条件下,TM偏振透射率及消光比都增大。在0.38μm~0.40μm及0.50μm~0.76μm全光波段内,TM偏振透射率都大于50%,消光比都大于170,达到了宽带宽、TM偏振透射率及透射消光比都较高的要求。 采用流延法制备聚乙烯醇偏光膜,制作出具有良好偏振度和透光率的偏光膜。用Marc软件对偏光膜力学性能进行分析,建立偏光膜应力松弛模型及拉伸有限元模型,分析其应力值随拉伸比的变化情况及应力松弛现象。用紫外可见分光光度仪对偏光膜光学性能进行观察,结果表明偏光膜透光率和偏振度都随拉伸比的增大而增大。探索偏光膜光刻工艺,制作透光轴垂直的二维偏光膜,测得了良好的光学性能。这对偏光膜与光电薄膜的集成工艺有重要参考价值。
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