碳纳米管具有丰富的孔隙结构和较大的比表面积,对一些气体分子有很强的吸附能力,在传感器特别是气体检测领域有广阔的应用前景。用介电泳法可以对碳纳米管进行纯化、定位、排布、筛选等研究,介电泳技术在碳纳米管成膜过程的操控上扮演着越来越重要的角色。本文探讨了介电泳法排布碳纳米管的技术,并对用这种方法制备的传感器的气敏性能进行了研究。本文用交流电场在叉指金电极上排布碳纳米管成膜,并和传统的悬涂法制备的碳纳米管成膜的形貌进行比较,发现在外加交流电场情况下,碳纳米管由于介电泳力的作用,能够在叉指金电极之间形成定向排布、均匀致密的薄膜。外加电场的频率、电压幅度和电泳沉积时间都会影响碳纳米管在叉指金电极上的分布,本文实验获得的最佳的介电泳参数为电场频率10MHz、电压幅度10V、电泳沉积5分钟。同时,本文还分别比较了介电泳法制备的碳纳米管传感器和悬涂法制备的碳纳米管传感器在氨气中的气敏性能,在相同的测试条件下,前者在对氨气的响应稳定性、灵敏度、响应时间、恢复时间上都优于后者,这与碳纳米管在传感器上的分布均匀性和薄膜的厚度等都有一定的联系。介电泳法是一种较为有效的制备碳纳米管气敏传感器的方法,相比起过去常用的悬涂法,具有分布均匀、成膜快的优点,适合大规模的生产。