316L不锈钢表面RF反应磁控溅射纳米氧化物薄膜及其性能研究

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316L不锈钢作为心脏支架材料由于其优良的力学、耐蚀性能得到了广泛的应用。但是其生物相容性和血液相容性较差,且在人体内长时间后易被腐蚀,腐蚀后释放的Ni2+,Cr3+和Cr6+等会对人体产生不良的影响。TiO2和Al2O3有优良的生物和血液相容性,很强的耐蚀性,可通过射频磁控溅射方法把TiO2和Al2O3沉积在心脏支架表面,提高其生物和血液相容性,提高耐蚀性和载药性,并隔绝脏支架Ni2+,Cr3+和Cr6+离子的释放。使用射频反应磁控溅射法在316L不锈钢基体上,通过改变基片温度、总气压、氧分压、靶功率和沉积时间等工艺条件,沉积TiO2薄膜。利用FESEM, XRD和电化学工作站分别研究工艺条件对薄膜的形貌、物相和耐蚀性的影响。研究发现,随着基片温度的升高结晶度提高,耐蚀性提高,特别是在P,总,=0.2Pa时、T=300℃时,TiO2薄膜结晶度很好,且为金红石型结构。总气压在较低时(0.2Pa-0.8Pa),虽然都有金红石型TiO2存在,但随着气压的升高结晶度下降,耐蚀性相差不大,均都很耐蚀,腐蚀电流大多达到了10-8量级,小于316L不锈钢的7.221×10-7A,且自腐蚀电位均高于316L不锈钢基体。制备Ti02薄膜最佳工艺为,P总=0.2Pa、PO2=0.01Pa、T=300℃、tTi=3min、tTiO2=60min,P=400W。此时薄膜的结晶度最高且为金红石型,耐蚀性也最好,自腐蚀电流和自腐蚀电位分别为5.995×10-8A和-0.226V。此工艺条件下在心脏支架表面镀膜后经模拟使用测试(撑开镀膜后,捻细再撑开)发现支架表面薄膜仍然平整致密,没有发现裂纹和脱落。满足药物涂层支架表面的质量要求,能提高载药量和药物涂层与支架的结合力。为进一步提高316L不锈钢心脏支架的载药量,使用RF反应磁控溅射法制备了Al2O3薄膜,利用FESEM, XRD和电化学曲线对在特定工艺范围制备的Al2O3薄膜的形貌,物相和耐蚀性进行了研究。发现在P总=2.0Pa, PO2=0.4Pa, T=300℃, P=400W时的氧化铝薄膜晶粒颗粒较大,晶粒之间的空隙更利于加大载药量,自腐蚀电流为9.218×10-8A低于不锈钢的7.221×10-7V,耐蚀性强,更有利于制备理想载药量的涂层心脏支架。
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