【摘 要】
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随着精密测量仪器、精密加工装备的日益发展，其测量和加工精度越来越高，环境振动成为影响实现其功能的重要因素。本论文依托国家重大科研专项，面向重大工程的实际需求，针对精密隔振系统中通道数多和速度要求高的主动隔振系统控制器进行分析和设计，使得控制器满足精密隔振系统控制要求，进一步提高精密隔振系统的性能和降低生产成本，满足精密隔振系统在不同场合下的应用需求。首先，本文以主动隔振系统为控制对象，分析了六自由
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随着精密测量仪器、精密加工装备的日益发展，其测量和加工精度越来越高，环境振动成为影响实现其功能的重要因素。本论文依托国家重大科研专项，面向重大工程的实际需求，针对精密隔振系统中通道数多和速度要求高的主动隔振系统控制器进行分析和设计，使得控制器满足精密隔振系统控制要求，进一步提高精密隔振系统的性能和降低生产成本，满足精密隔振系统在不同场合下的应用需求。首先，本文以主动隔振系统为控制对象，分析了六自由度精密主动隔振台的工作原理，对隔振台的机械结构、信号传输硬件、传感器及信号调理方法进行了论述。在
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