【摘 要】
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硫化锌(ZnS)是一种用途广泛的宽带隙Ⅱ—Ⅵ族半导体光学材料。红外硫化锌(ZnS)多晶体块材料具有优异的机械性能和光学性能,可以用来制作高速飞行器红外窗口,红外成象系统和多光
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硫化锌(ZnS)是一种用途广泛的宽带隙Ⅱ—Ⅵ族半导体光学材料。红外硫化锌(ZnS)多晶体块材料具有优异的机械性能和光学性能,可以用来制作高速飞行器红外窗口,红外成象系统和多光谱精确制导系统的整流罩等。 本文以单质硫、高纯氢气和锌蒸气作为反应物,高纯氩气作为稀释和载流气体,采用化学气相沉积法制备红外硫化锌(ZnS)多晶体块材料。晶体经加工处理后,用傅立叶红外光谱仪、X-射线衍射仪(XRD)、X-射线光电子能谱仪、扫描电子显微镜(SEM)等测试方法研究了CVD-ZnS的光学性能、晶体结构以及晶体缺陷对材料性能的影响。结果表明:采用优化的沉积工艺和热等静压后处理,减少晶体中杂质,微孔,六方结构ZnS及Zn-H键的形成,使生长的CVD ZnS具有高的光学品质,中远红外波段的透过率(3~5μm和8~12μm)在71%以上,可见光波段透过率在50%以上,尺寸可达110×110×10mm~3。
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