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随着精密测量、超精密加工、集成电路制造等领域对精度要求的不断提高,工作环境中微小的振动将会对的精度造成较大的影响,为了满足高精密制造和测量设备对地基振动隔离的需求,高精密隔振系统必须具有更宽的隔振频带,更高的隔振效率以及更多的自由度。高精密系统对振动隔离的需求使隔振技术逐步发展成为依靠本身材料特性衰减振动的被动隔振技术、依靠控制作动器产生补偿力衰减振动的主动隔振技术、以及具有更宽隔振频带的主被动一体隔振技术。本文以台桌式隔振系统为平台,所用的台桌式隔振系统为主被动一体的混合隔振系统,主要对其前馈控制