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每年有大量的建筑幕墙玻璃,显示面板玻璃和汽车玻璃由于表面划伤、磨损而报废。类金刚石(DLC)薄膜材料具有高硬度,低摩擦系数等优异的性能,能有效的提高玻璃在加工、使用、物流等过程中的划伤问题,提高成品率。目前阻碍DLC薄膜在玻璃表面应用的主要原因是玻璃和DLC薄膜之间存在较大的内应力,造成薄膜易产生开裂和剥落。因此,本论文在玻璃基体与DLC薄膜间预镀一层SiC缓冲层,来提高薄膜与基体间的结合强度,使得DLC薄膜可以在玻璃上得到应用,提高玻璃表面的硬度。本文采用直流/射频磁控溅射法,在普通载波片表面沉积DLC薄膜,研究SiC缓冲层对DLC薄膜性能的影响,同时主要研究了沉积参数(溅射功率、氩气与乙炔流量比、沉积气压、沉积时间)对玻璃基DLC薄膜的结构、硬度与可见光透过率的影响。通过XRD、台阶仪、SEM、Raman以及紫外-可见分光光度计,表征和分析DLC薄膜的结构和性能,得出以下结论:(1)在玻璃基片上预镀制SiC缓冲层能有效的提高玻璃基DLC薄膜的硬度。SiC缓冲层的厚度过小或过大都对DLC薄膜硬度影响较大,当SiC缓冲层的厚度为46nm时,玻璃基DLC薄膜的硬度达到最佳。(2)DLC薄膜的硬度主要取决于薄膜结构致密度、薄膜中sp~3键的含量;sp~3键含量越高,薄膜的结构致密度越高,硬度就越大;(3)DLC薄膜的可见光波段透过率主要由薄膜的厚度和sp~3键含量来决定,薄膜的厚度对可见光波段透过率影响比sp~3键含量的影响大;薄膜厚度越大,薄膜的可见光波段透过率越低;薄膜中sp~3键含量越高,薄膜的可见光波段透过率越高。(4)不同沉积参数条件下制备的DLC薄膜都是非晶态薄膜。当SiC缓冲层的厚度为46nm左右,沉积DLC薄膜的工艺参数为:溅射功率200W,沉积气压1.6Pa,氩气乙炔流量比8:1,沉积时间30min,得到的DLC薄膜的硬度达到最大值,大小约为820HV,同比玻璃基体增加22.4%,可见光波段平均透过率37.84%。