【摘 要】
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随着对光学加工质量和光学系统成像精度要求的不断提高,光学检测领域亟需能够实现定量化球面光学元件表面缺陷检测的系统和方法。本文介绍了一套球面光学元件表面缺陷自动化
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随着对光学加工质量和光学系统成像精度要求的不断提高,光学检测领域亟需能够实现定量化球面光学元件表面缺陷检测的系统和方法。本文介绍了一套球面光学元件表面缺陷自动化评价系统SSDES(Spherical Surface Defect Evaluation System)。该系统基于显微散射暗场照明的检测原理,包括可变孔径角照明光源,自动定中系统、成像系统以及多轴空间位姿调整系统。该系统通过已规划的扫描路径完成球面光学元件表面缺陷的全口径扫描。基于SSDES设计了一种球面光学元件表面缺陷的定量化评价方法。首先通过三维矫正模型恢复因光学成像而造成的球面表面缺陷沿光轴方向的信息丢失问题。其次,提出了投影子孔径拼接方法实现了三维子孔径在投影平面上的精确拼接,进而减小了三维精确拼接的难度,拼接完成后再利用三维逆投影重构得到球面缺陷分布的全景图像。最后,利用曲面积分和标准比对板对不同倍率下表面缺陷的长度和宽度进行了检测,得到缺陷尺寸的定量化评价数据。通过上述理论分析建立了SSDES系统并对评价方法进行了验证。对φ40mm, R77.52mm的凸球面光学元件表面缺陷进行了检测,得到准确的三维子孔径图像后实现了无像素错位的投影全口径拼接,并复原了球面缺陷全景图像。最后,利用OLMPUS显微镜的检测结果进行比对,得到了一致的结果
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