MEMS系统的飞速发展让人们对微尺度领域的研究产生了极大的兴趣。微电子机械系统(Micro Electronic Mechanical System)采用与集成电路技术兼容的加工技术可以制造出尺寸达到微米甚至纳米级的机械。本文对新型基于水银为介质的微流体加速度开关进行了理论分析研究。在理论上说明了水银加速度开关的原理、对相关的学科理论也有一定的阐述,诸如表面张力,固液表面的接触理论,固液接触角的测量方法等。在分析了水银加速度开关可行性及其潜在的优点的基础上,本文对于在不同加速度作用下,水银运动的方程进行了理论探索,这对于整个开关的研究具有重要意义。该微流体系统受粘性力、惯性力、表面张力等共同作用,靠惯性力使微流体运动,产生位移,接通开关。在公式推导一章中,提出了利用表面张力原理构架起来的静力学方程,并依据Navier- Stokes公式推导了微通道中间流的运动方程,探讨了新型开关的制备工艺和材料,最后给出了全文总结,提出了下一步研究的建议。