沉积在离子液体表面铝薄膜的成膜机理及微观结构

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本文首次利用离子液体作为基底,采用真空蒸发方法,成功制备得到了具有独特微观结构的铝薄膜系统,深入系统地研究了此类薄膜系统的表面形貌、微观结构和成膜机理,得到了以下实验结果:(1)铝原子在离子液体表面形成连续薄膜,在薄膜中可以观察到有大量不同尺寸的准圆形凝聚体。实验发现:准圆形凝聚体的平均直径为微米量级,并随着沉积速率f的增加而逐渐增大。在薄膜名义厚度d<6.0 nm时,准圆形凝聚体的平均面积Sav与薄膜名义厚度d较好地满足一次e指数关系,当6.0 nm
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