MOCVD是金属有机物化学气相沉积技术的简称,即通过MOCVD设备,在衬底上生长材料晶体的一种方法。用这种方法生长出来的晶体可用于各种芯片的制造。这是当前研制新型光电材料的重要方法之一。目前,国内的大多数MOCVD设备,其整个设备的操作均采用手工来完成,既影响工作效率,又会对整个工艺过程带来很多误差和不稳定因素,直接造成生长器件的合格率低,质量下降。其次,使用MOCVD设备的现场噪声大,工作环境差,且MOCVD反应周期比较长,对人工进行设备操作极为不利。因此,为了提高整个设备操作的准确度,为了改善工作环境,需要利用自动控制设备对MOCVD设备的工作过程进行实时监控和管理。而类似MOCVD自动控制的电路均由国外引进,成本很高。作者根据MOCVD工艺过程的特点,设计了一套以FPGA为核心的嵌入式监控系统,实现对MOCVD工艺的监控。本系统由三个部分来完成,首先是数据采集压缩部分,采集图像,温度,湿度,压强等数据,并进行压缩处理;其次是数据传输部分,利用以太网络接口,将数据传输到局域网上;最后是计算机管理部分,通过计算机显示设备操作图像,分析温度,湿度,压强等数据,发送控制管理命令。本文详细的介绍了上述系统的设计方法,对系统进行了评估和比较,并提出了改进方案。