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石英振梁加速度计(QVBA)是一种基于谐振梁力频效应以及石英逆压电效应的加速度传感器,能够直接输出频率,消除了A/D转换带来的误差,可采用微细加工工艺进行批量生产,具有精度高、成本低、体积小、功耗低等优点,在民用、军工、航空航天、勘探等低中高精度领域有着广泛的应用前景。国内外很多研究机构和高校研发了几种典型QVBA结构：基于双梁振梁的分体式结构、基于双梁的一体式结构、基于单梁振梁的一体式结构。本文在这些典型结构的基础之上提出了一种新型一体式QVBA结构,主要由单梁、质量块、挠性铰链、支撑座、隔离框、