Mo-15Cu电子封装板材的致密化行为

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本文采用工业级Mo粉、Cu粉,通过粉末轧制-液相烧结-冷轧加工-复烧处理的工艺,制备出适用于电子封装散热基板的高致密度、良好热导率和低膨胀系数的Mo-15Cu合金板材。 本文采用DTA/TG热分析、金相显微分析(数码金相显微镜和扫描电子显微镜)、化学分析、X射线衍射、密度测试、显微硬度测试、电阻率测试、导热率测试和热膨胀系数测试等检测手段,研究了Mo-15Cu粉轧生坯的最佳液相烧结制度、Mo-15Cu.烧结板坯的冷轧工艺、Mo-15Cu冷轧板坯的复烧工艺以及不同工艺条件对材料性能的影响,并从理论上对Mo-15Cu粉轧生坯的液相烧结致密化行为、推舟式连续液相烧结致密化行为,以及Mo-15Cu板材冷轧致密化机理进行了深入的探讨。 本文通过研究Mo-15Cu板材液相烧结致密化行为得出,板材的致密度随着烧结温度的升高与保温时间的延长而增大,其最佳液相烧结温度为1350~1400℃,保温时间为2~3小时。通过分析Mo-15Cu假合金的致密化过程曲线得出,其液相烧结致密化过程可分为两个阶段:1.液相的生成与颗粒的重新排列阶段,2.固相长大阶段。通过研究Mo-15Cu推舟式连续液相烧结工艺的致密化特征得出,与传统烧结工艺相比,该工艺更有利于板材的致密化,板材沿推舟方向的温度梯度分布更有利于孔洞的迁移。 本文通过研究Mo-15Cu板材冷轧致密化行为得出,Mo-15Cu烧结板坯的相对密度越高,越容易在冷轧过程中达到全致密,而相对密度小于70.8%的Mo-15Cu烧结板坯难以通过冷轧工艺达到全致密。Mo-15Cu板材的冷轧致密化行为主要由孔洞的压缩变形引起,当板材中的孔洞弥合成线状孔洞之后,材料达到全致密。随着冷轧变形量的增加,Mo-15Cu板材的显微硬度值不断增加,当板材相对密度低于100%时,孔洞变形所引起的致密度增加是板材硬度增加的主要原因,当板材相对密度达到100%时,Mo颗粒发生了显著的变形,Mo颗粒的加工硬化导致板材硬度值的增加。本文通过研究复烧处理对Mo-15Cu板材组织性能的影响得出,经过复烧处理的Mo-15Cu板材组织致密而均匀,热导系数显著提高,电阻率与热膨胀系数显著下降,复烧处理优化了材料在电子封装领域的重要性能参数。
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