【摘 要】
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当今社会,随着物联网与智能制造的持续升温以及中美贸易战的爆发,高精度和高灵敏度的测量需求与日俱增,设计并使用我国完全自主可控的核心芯片和元器件的地位和作用也在不断
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当今社会,随着物联网与智能制造的持续升温以及中美贸易战的爆发,高精度和高灵敏度的测量需求与日俱增,设计并使用我国完全自主可控的核心芯片和元器件的地位和作用也在不断彰显,进口芯片和元器件的国产化替代工作刻不容缓,尤其是在国防、水下领域的应用需求更是愈加迫切,本课题即在此种背景下应运而生。传感器作为一类能接收被测量信号的程度且按照一定规律转换为可显示输出信号的元器件,是实现物联网和智能制造中智能监测和信号反馈的首要关卡,一般包括敏感部分与转换部分等,在此种环境中更是备受关注和广泛应用。本论文立足于为了加强我国核心器件自主可控、推进传感器产品升级换代、解决工程应用中的实际需求,通过技术积累、技术融合和技术创新,设计出了一款满足实际压力温度测量需求的压力温度复合型传感器,并从标准化、可靠性和安全性等方面加强了传感器设计的功能性和健壮性,圆满解决了实际使用需求和自主可控要求。论文主要初衷即为打破单一测量量传感器仅能测量一种物理量的固有模式,创新的提出了在不增加传感器体积和功耗的前提下,增加了测量物理量的数量和种类,提高了测量精度,降低了测量误差,解决了实际工程的痛点和需要。具体研究方法主要在技术积累和技术融合的基础上,融入目前较新的设计理念和技术手段,以工程实际应用为牵引,打破了传感器仅能测量单一物理量的桎梏,设计出了一款小型化、多被测量的复合型传感器。
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