微细阵列群孔结构在航天、汽车等行业中应用日益广泛。为了实现微细阵列群孔高精度、低成本的加工，本文提出了Al-Al2O3模板阴极微细电解加工的方法，主要研究内容如下：（1）研究了Al-Al2O3模板阴极法微细电解加工的机理。对加工过程进行了数值模拟及有限元仿真分析。结果表明，Al-Al2O3模板阴极上的陶瓷膜层越厚，加工电压越小，电解加工成型精度就越好，但是电解效率有所下降。Al-Al2O3模板阴极上铝的厚度对电解凹坑开口直径无影响。（2）搭建了Al-Al2O3模板阴极法微细电解加工试验系统,进行了SUS304不锈钢及纯钛工件的电解试验。试验结果表明，电解液浓度越低，陶瓷层厚度越厚，加工电压越低，电解加工的精度越好，但是加工效率下降，与仿真结果相符。（3）优化参数，采用质量分数5%的LiCl甲醇溶液，200μm的陶瓷层厚度，5V的加工电压进行阵列群孔加工。加工得到群孔平均直径为554.7μm，均方差为12.7μm的不锈钢工件及平均直径为575.8μm，均方差为15.8μm的纯钛工件。