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本文主要的研究内容为不同衬底上的碳纳米管阵列的制备，结合扫描电子显微镜及拉曼光谱进行样品的表征。全文简要地介绍了碳纳米管及其拉曼光谱相关概念，研究了硅衬底和金属衬底(304不锈钢钢和铜)上生长碳纳米管的一系列问题。研究发现，当衬底为硅时，乙炔流量为30sccm，氢气流量为100sccm比较适合碳纳米管的生长，气体流量同时扩大一倍时，生长出来的定向碳纳米管阵列的管状物曲线最平滑，定向性最好，密度最大，氨气刻蚀工艺方面，100sccm流量的氨气下刻蚀催化剂10min时，生长出来的碳纳米管阵列缠绕最少，表