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随着空间光学技术的发展,空间光学零件制造技术面临着挑战。近年来,碳化硅(Silicon Carbide,SiC)材料由于其较高的比刚度和比强度等优异性能,成为了制备空间光学反射镜的首选材料。然而由于SiC材料硬度极高(莫氏硬度9),在磨削成形过程中砂轮磨损大,机床精度难以发挥,导致加工效率低下,精度难以提升,成为SiC反射镜的制造瓶颈难题。计算机控制光学表面成形技术(Computer Controlled Optical Surfacing,CCOS)在光学零件修形抛光中发挥了重要作用。利用CCOS