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本论文的主要内容包括:设计了一台低能电子解离贴附质谱装置,此装置采用余摆线型电子单色器和四极质谱计等技术,用于研究低能电子与分子的解离性贴附动力学过程;在装置加工完成后对装置进行安装、调试,通过调试余摆线型电子单色器各极板之间的电压,优化电子束流强度和能量分辨率之间的关系。本论文主要分以下三部分:
第一章介绍了低能电子与分子碰撞的研究意义、背景以及电子-分子共振动态的理论知识,瞬态阴离子的形成,以及与其相关的各种解离通道;然后介绍了几种研究低能电子与分子碰撞贴附的主要方法,包括电子透射能谱以及电子贴附质谱方法。
第二章详细介绍了低能电子解离贴附质谱装置各部分的设计,包括:余摆线低能电子单色器的设计理论以及构造;用赫姆霍兹线圈获得的磁场:减速分析场原理以及单色器分辨率的测量方法;此外还介绍了反应室、供样系统、电源系统和检测系统。与世界上同类装置相比,本装置的设计具有电子单色器能量分辨率较高、优化电源系统、实现计算机控制等特点。
第三章详细介绍了低能电子解离贴附质谱装置加工完成后的安装和初步调试工作。磁场稳定性测试;采用旋片式真空泵和分子泵抽真空,实现10<-6>Pa超高真空度:调试低能电子余摆线单色器各极板电压引出电子束:解决在调试过程中暴露出的设计上存在的一些问题,改进装置;粗略得到单色器的能量分表率指标和电子束流强度指标。
针对我们的仪器装置总结了在其设计和安装、调试过程中存在的问题,提出了下一步的工作计划,以及以后的发展方向。