【摘 要】
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第三代半导体氮化镓,具有高电子迁移率、优异的禁带宽度、高工作频率、大击穿电压、高饱和电子速度等优点,成为制备微波器件的优异材料。在5G时代,无线基站要求射频功率放大器具有更高的工作频率和效率,功率放大器的核心器件是微波晶体管。相比于硅、砷化镓材料制备的晶体管,氮化镓基微波晶体管更能满足5G时代的功率放大器的要求。微波晶体管在进行引线键合时,引线的物理特性对微波晶体管的传输特性有重要影响。微波晶体管
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第三代半导体氮化镓,具有高电子迁移率、优异的禁带宽度、高工作频率、大击穿电压、高饱和电子速度等优点,成为制备微波器件的优异材料。在5G时代,无线基站要求射频功率放大器具有更高的工作频率和效率,功率放大器的核心器件是微波晶体管。相比于硅、砷化镓材料制备的晶体管,氮化镓基微波晶体管更能满足5G时代的功率放大器的要求。微波晶体管在进行引线键合时,引线的物理特性对微波晶体管的传输特性有重要影响。微波晶体管测试是获取器件电学特性参数的重要手段,是精确表征器件的基础,也是对晶体管进行建模的前提。在此背景下,本文对微波晶体管的引线进行建模及仿真并设计了测试夹具组件,主要内容如下:（1）本文对氮化镓基微波晶体管的封装内连接技术进行了研究,重点关注主流的引线键合连接封装方式,使用电磁仿真方法探究了键合线的跨距、直径、拱高对于器件传输性能的影响,得到一组最优的键合线参数。（2）本文选择的测试对象是Cree公司的CGH40010F微波晶体管,该晶体管未做内匹配,测试时容易发生自激振荡。设计制作了50欧姆夹具及TRL（Thru Reflect Line,直通反射线）校准件,对网络分析仪进行校准,准确提取出晶体管的S参数。为了对晶体管进行大信号测试,设计了一种变阻抗夹具。
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