随着半导体工艺技术的不断提高,CMOS图像传感器在固体传感器中的优势日益彰显,使其应用领域不断拓宽。从日常生活中随处可见的智能手机、数码相机到医疗设备、工业监控的摄像头,再到星敏感器、航海航天等空间科学,都有CMOS图像传感器的身影。在CMOS图像传感器的应用市场在高可靠领域中不断的同时,对器件可靠性规定也在不断严苛。然而在生产、制造过程中由于结构、工艺等因素使CMOS图像传感器不可避免地存在着缺陷。为确保器件能够在军事、航天等对可靠性要求极高的领域投入使用,必须先对器件可靠性进行评估。老炼是元器件评估的重要方法。因此,CMOS图像传感器老炼装置的设计研究是很有必要的。本文以V1TIX30图像传感器动态老炼试验为目的,设计了一种模块化CMOS图像传感器高温动态老炼装置,它具有可实时监控、老炼效率高、应用灵活、稳定可靠等优点。主要研究内容如下:集成电路可靠性与老化基础理论。老炼的基本理论。CMOS图像传感器的基本理论。阐明了本设计装置所针对的图像传感器的结构特点和工作方式。针对所选图像传感器性能,依据动态老炼试验要求,完成了本高温动态老炼装置的设计方案。本装置主要包括老炼模块、恒温箱等。老炼模块的程序设计。完成本设计的模块化CMOS图像传感器高温动态老炼装置,并用该装置对传感器进行老炼试验,最后对试验结果进行分析。