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超声波电机是一种新型电机,利用压电材料的逆压电效应激发超声振动,借助弹性体谐振放大,通过摩擦耦合产生旋转或直线运动,具有低转速、大力矩、电磁兼容性好及断电自锁等特点,在微机电系统、航空航天、医疗等对磁场敏感或有高定位精度要求的领域具有广阔的应用前景。本文基于有限元分析方法,针对小型行波超声波电机定子的结构特点,对定子振动模态、定子结构优化设计和定子齿端面质点运动特性进行研究,具体内容如下:1.概述了与本文研究相关的基础内容,包括压电耦合效应、压电材料参数、超声波电机结构、定子