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法布里-珀罗(Fabry–Pérot,F-P)腔是光通信领域的重要组成光学元件,具有重要的研究价值。为了满足更高的通信需求,科学家在F-P腔的基础上提出了可调谐F-P腔。F-P腔的调谐功能不仅可以补偿制作工艺中出现的误差,还可以用作波长选择开关。实现F-P腔的调谐功能有角度调谐,腔长调谐和折射率调谐三种方式。其中,电光调谐具有驱动控制简单,响应速度快,易于集成的优点。为了实现电光调谐,F-P腔需要使用具有较大电光系数的电光材料制作。而具有较大电光系数的无机晶体铌酸锂(LiNbO3,LN)便成为最佳选择,并且LN晶体的波导制作工艺比较成熟,抛光后的波导端面比较平整,通过在两端镀一定反射系数的介质薄膜,可以形成质量较好的F-P腔。为此,本论文对电光调谐LN光波导F-P腔进行了研究。论文的主要内容包括:首先,论文对电光调谐LN光波导F-P腔的基本结构以及器件的工作原理,输出特性和调谐特性进行了分析。然后分析设计了LN光波导的单模传输条件,即波导扩散深度和扩散宽度。接下来对介质薄膜的反射系数进行分析设计,确保制作的FP腔的可以产生质量较好输出谱。之后根据LN晶体切向和波导尺寸,分析设计器件的电极尺寸,以实现F-P腔的电光调谐功能。然后,根据器件的整体结构的分析设计,确定器件的全部参数。接着设计制作对应的光刻掩模版,利用退火质子交换工艺制作LN单模直波导,超声剥离法制作调谐电极。之后,通过在LN波导两端镀介质薄膜(反射系数为80%-85%)形成F-P腔。最后,对制作成功的电光调谐LN光波导F-P腔进行了输出特性和调谐特性的测试。具体的实验工作包括:(1)研究制作低损耗LN直波导,并成功制作出长度为1.50 cm,插入损耗为3.81 dB的LN直波导;(2)成功制作出长度为0.90 cm的F-P腔,并测试F-P腔的传输性能,得到自由光谱区为0.06 nm,隔离度为3.20 dB的输出谱;(3)成功制作器件的调谐电极,测试F-P腔的电光调谐特性。测出当驱动电压为10V时,中心波长移动0.03 nm。