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多铁性材料是一种集电与磁性于一身的多功能材料,具有独特的物理性质。多铁性材料的研究是目前材料科学及凝聚态物理中的一个宽广的新领域,蕴含着丰富的材料科学与物理研究课题、以及可预期的广阔应用前景。稀土锰氧化物薄膜的制备及其物性的研究是近年来凝聚态物理学领域中受到世界各国科研人员关注的前沿与热点问题之一。兼具铁电性、反铁磁性而有铁磁铁电材料之称的YMnO_3,其介电常数低(ε_r=20),只有单一的极化轴,没有挥发性的元素Pb、Bi等特点而成为非挥发性记忆存储器的候选材料。本论文主