高κ介电层氧化锶薄膜的制备及其在薄膜晶体管中的应用

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【摘要】

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【作者】

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范彩璇

【出处】

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青岛大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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溶胶凝胶法金属氧化物氧化锶薄膜晶体管

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