数字微镜的动力分析

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【摘要】

：

微电子机械系统(MEMS)是科学技术在微观领域的发展和应用。微电子机械产品有着广阔的发展前景和潜在的巨大商业价值,在现代商业竞争中占有越来越重要的地位。数字微镜装置(DigitalMicromirrorDevices,简称DMD)是微电子机械系统理论的具体应用,是科学技术市场化、商品化的产物。本文简述数字微镜装置(DMD)和数字光处理(Digital Light Processing ,简称DLP

【作者】

：

刘霞芳

【机构】

：

西安电子科技大学

【发表日期】

：

2007年01期

【关键词】

：

微电子机械系统数字微镜装置数字光处理静电力粘附力

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