基于纳米催化剂的MEMS甲烷催化燃烧传感器的研究

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【摘要】

：

低功耗、微型化与智能化是传感器当下的发展趋势。采用基于MEMS技术的微加热元件,制备基于MEMS技术的低功耗甲烷催化燃烧传感器现已成为甲烷催化燃烧传感器研究的一个重要发展方向。本论文制备了基于介孔γ-Al2O3载体的Rh体系甲烷催化燃烧催化剂和基于多种载体的Ru体系催化剂,将其用于MEMS甲烷催化燃烧传感器的制作,并进行了一系列的性能研究,期望利用介孔结构的高表面积扩大催化燃烧反应面积,提高传感器

【作者】

：

牛舒帆

【机构】

：

华东理工大学

【发表日期】

：

2013年01期

【关键词】

：

纳米催化剂甲烷催化燃烧传感器 MEMS

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