微分干涉相衬金相显微镜Nomarski棱镜设计

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金相显微镜的检验方法主要有明场、暗场、偏光、微分干涉相衬显微术,其中最强有力的检验方法是微分干涉相衬显微术。微分干涉相衬显微术是利用线偏振光双光束干涉,将试样表面由微小高度差造成的光程差转变成为人眼或者感光材料能感受到的光强差,增加了各显微组织细节之间的衬度,使显微镜的分辨率提高到纳米量级。微分干涉相衬显微术的关键技术是Nomarski棱镜。通过Nomarski棱镜的光束在棱镜里可以分成两束传播方向相同振动方向互相垂直的o光和e光。它们产生的分束角很小,小于显微镜的分辨率极限,在光束通过棱镜时还会产生适当的光程差。在这种状态下,物体组织边缘部分以光强度差的形式表现出来,而使阴影效果增强相衬,形成微分干涉相衬显微术所特有的浮雕感。本文阐述了金相显微镜的成像原理以及影响像差、像质的因素,介绍了光学、机械、照明等系统的构造,并演示了各个器件的调试装配方法以及调试过程中需要注意的一些问题。重点研究了微分干涉相衬显微术的基本原理以及形成微分干涉相衬显微术的基本条件。在典型的Nomarski棱镜的基础上设计出改进型的Nomarski棱镜,用MATLAB计算、仿真分束角、相干面出离量等参数的关系,运用CAD完成了整个棱镜的设计工作。根据微分干涉相衬金相显微镜的调试结果,证实了所设计的微分干涉相衬装置系统方案正确,实验装置可行,可以用来实现批量化生产。
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