局域表面等离子体共振(Localized Surface Plasmon Resonance,LSPR)是由于光波激发导致贵金属体内自由电子发生共振的现象。当入射光照射到金属表面,光波的频率与金属纳米结构的电子频率相同时,会使金属表面电荷振荡。此时金属纳米结构表面的电磁场会极大地增强,使金属纳米结构对其表面附近的物质折射率变化十分敏感。如果将待检测物修饰在金属纳米结构表面,就能够通过测试光谱的变化对待测物进行传感检测。为了制备纳米图形结构,本文搭建了一套劳厄德(Lloyd)干涉曝光系统,成功在2×2cm2的导电玻璃以及硅片衬底上制备出了纳米光栅、点阵以及孔阵等结构。随后通过电子束蒸发,金属剥离(lift-off)等工艺制作出传感性能优异的金属纳米结构,为传感芯片的制备提供了前提条件。本文通过FDTD Solutions软件对制备的金属纳米结构进行仿真,分析了金属纳米颗粒的形状、尺寸以及材料等因素对传感特性的影响。模拟了不同大小的金纳米点阵在不同介质折射率下的光谱特性,结果说明随着折射率的增大,共振波长发生显著位移。这些模拟工作为后期芯片的传感测试提供了借鉴。最后对制备的金属纳米结构进行实际的测试。通过测试结果验证了金纳米颗粒的参数对折射率灵敏度的影响。本文的研究结果表明,对于金纳米点阵结构传感芯片,其传感灵敏度可达533nm/RIU。这为研究高灵敏度的LSPR传感器制作提供了参考,在生化传感领域具有很大的应用价值。