MEMS传感技术是一个新兴的技术领域,它不仅适用于微型系统,如微型飞行器、微型机器人等,而且由于其具有性能高、价格便宜、适合大批量生产等特点,将会逐步替代一些传统的传感器。由MEMS组成的微型自动驾驶仪采用MEMS集成技术,除微型飞行器必用外,也能用到许多无人机上,是微型飞行器和无人飞行器实现自主飞行的重要手段之一。微型自动驾驶仪的发展同时会推动MEMS器件和技术的应用和发展,尤其是MEMS惯性传感器件、MEMS磁传感器、MEMS压力传感器件、MEMS光电传感器件等等。微型自动驾驶仪重量仅为数十克,不仅能够实现导航控制,而且能够测量和控制飞行器的全姿态(俯仰、滚转、航向)。除无人机外,微型自动驾驶仪还可应用于导弹、坦克、火炮等军事领域以及卫星定位、汽车定位和自动驾驶、工业机器人等民用领域,具有重要的研究意义和军民两用应用前景。本文将介绍微型自动驾驶仪及其用到的MEMS传感技术和自主控制技术。