添加剂对钛酸锶钡薄膜表面形貌的影响

来源 :第十二届全国电介质物理、材料与应用学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiongwen0225
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本研究用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了钛酸锶钡(BST)薄膜,研究了聚乙烯吡咯烷酮(PVP))添加剂对BST薄膜表面形貌的影响。扫描电镜(SEM)显示,无添加剂的BST薄膜表面粗糙、裂纹严重、结构疏松、孔隙明显。SEM和原子力显微镜(AFM)表明,在前驱液中添加PVP能抑制裂纹的产生而改善BST薄膜的表面形貌。但PVP能否有效改善BST的表面形貌与PVP含量、BST薄膜厚度、热处理等有关.就有关机理进行了讨论,给出了获得表面平整、致密、元裂纹和孔洞薄膜的优化条件。
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