【摘 要】
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本项目以一种基于电共轭效应,结构简单,能量转换效率高,功率密度比大,低噪声的电共轭流体微型泵作为研究对象.射流发生器作为微型泵的核心部件,将电能直接转化为流体动能,采用了三角柱-缝隙形电极结构,并运用MEMS制造工艺制作完成.本项目通过理论分析和实验研究,妥善解决了电共轭流体微型泵总体结构、制作工艺、输出性能等方面的若干关键问题,提高了射流发生器的制作精度,优化了电极阵列的尺寸参数,大幅提升了微型
【出 处】
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第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)
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本项目以一种基于电共轭效应,结构简单,能量转换效率高,功率密度比大,低噪声的电共轭流体微型泵作为研究对象.射流发生器作为微型泵的核心部件,将电能直接转化为流体动能,采用了三角柱-缝隙形电极结构,并运用MEMS制造工艺制作完成.本项目通过理论分析和实验研究,妥善解决了电共轭流体微型泵总体结构、制作工艺、输出性能等方面的若干关键问题,提高了射流发生器的制作精度,优化了电极阵列的尺寸参数,大幅提升了微型泵的输出性能,推进了电共轭流体微型泵及其他基于电共轭效应的各项应用研究的向前发展.
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