【摘 要】
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随着半导体工业的迅猛发展,对真空设备的真空度要求越来越高,对检测真空漏率的氦质谱检漏仪的技术指标也在相应的提高。处在亚洲最大的真空设备生产中心,日本的氦质谱检漏仪生产商在完善原有产品的同时,还在向高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等方向发展。本文主要介绍日本的氦质谱检漏仪生产商及其产品,仅供国内的同行参考。
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随着半导体工业的迅猛发展,对真空设备的真空度要求越来越高,对检测真空漏率的氦质谱检漏仪的技术指标也在相应的提高。处在亚洲最大的真空设备生产中心,日本的氦质谱检漏仪生产商在完善原有产品的同时,还在向高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等方向发展。本文主要介绍日本的氦质谱检漏仪生产商及其产品,仅供国内的同行参考。
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