扫描探针显微镜针尖电容的测量与应用

来源 :电子科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yingchaoya

【摘要】

：

本文基于扫描探针显微镜(SPM)建立了微区电容的低频测量系统,最小测量电容为30aF,工作频率为20～100kHz.试验测量了SPM导电针尖与金属样品之间的电容Ctip与它们之间的距离z关系曲线,并同时通过光学系统测量了针尖的关于频率的一次受力信号Fw与z的关系曲线.我们推导了两种测量方法所获曲线的内在关系,并获得了针尖与样品的表面势之差.最后,我们利用此系统测量了Al0.3Ga0.7N/GaN薄

【作者】

：

Haoming Sun 孙浩明 Zhihong Wang 王志红 Huizhong Zeng 曾慧中

【机构】

：

State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Scienc

【出处】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2008年5期

【关键词】

：

扫描探针显微镜微区电容低频测量系统测量试验

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