P-Si上激光诱导沉积钯

来源 :第九届全国电化学会议暨全国锂离子蓄电池研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ZHAOTAON
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采用改良的传统化学镀液,无需加热,在激光照射下得到了P-Si表面选择性的钯镀层,采用SEM、AES、RBS和XPS技术对2种含不同还原剂的镀液中得到的镀层进行了形貌、化学组成、界面扩散等方面的研究;并探讨了液相激光化学沉积钯的机理。
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