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会议论文
P-Si上激光诱导沉积钯
P-Si上激光诱导沉积钯
来源 :第九届全国电化学会议暨全国锂离子蓄电池研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ZHAOTAON
【摘 要】
:
采用改良的传统化学镀液,无需加热,在激光照射下得到了P-Si表面选择性的钯镀层,采用SEM、AES、RBS和XPS技术对2种含不同还原剂的镀液中得到的镀层进行了形貌、化学组成、界面扩散等方面的研究;并探
【作 者】
:
郁祖湛
崔启明
【机 构】
:
大学化学系(上海)
【出 处】
:
第九届全国电化学会议暨全国锂离子蓄电池研讨会
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
激光诱导沉积
激光化学沉积
界面扩散
激光照射
化学组成
化学镀液
钯镀层
选择性
还原剂
液相
加热
技术
机理
表面
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采用改良的传统化学镀液,无需加热,在激光照射下得到了P-Si表面选择性的钯镀层,采用SEM、AES、RBS和XPS技术对2种含不同还原剂的镀液中得到的镀层进行了形貌、化学组成、界面扩散等方面的研究;并探讨了液相激光化学沉积钯的机理。
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