【摘 要】
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采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备高速率微晶硅太阳电池,针对微晶硅材料在生长过程中存在纵向不均匀性而导致的电池光电性能随之下降的问题,通过对吸
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
【出 处】
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第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会
论文部分内容阅读
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备高速率微晶硅太阳电池,针对微晶硅材料在生长过程中存在纵向不均匀性而导致的电池光电性能随之下降的问题,通过对吸收层采用氢稀释梯度设计来调整本征层材料纵向结构,从而改善限制载流子输运特性.对不同梯度分布及其对电池性能的影响进行对比.研究发现,梯度设计的引入可有效调控本征层纵向结构,使本征层晶化率尽可能保持一致,同时提高了载流子的输运能力,提高电池的光电性能.通过对本征层梯度设计进一步优化,获得了初始转化效率为10.01％的单结微晶硅薄膜太阳电池.
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