极化聚合物定向耦合型电光开关波导制备

来源 :全国第四届塑料光纤、聚合物光子学会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhdj600
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介绍了一种定向耦合型聚合物波导电光开关。利用溶胶-凝胶法合成了有机/无机杂化电光材料,旋涂在长有SiO2的Si衬底上。采用加载条形波导结构,利用环氧基紫外负性光刻胶SU-8制备引导层波导,甲基丙稀酸甲酯.甲基丙稀酸环氧丙酯共聚物PMMA-GMA作为上包层。通过湿法刻蚀、电晕极化等工艺,制备了极化聚合物定向耦合型电光开关波导,并进行了光场测试。
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