【摘 要】
：
本文采用氧化铝氧化锆高温共烧结陶瓷技术制备了一种极限电流型氧传感器,将8mol％氧化钇稳定的氧化锆固体电解质流延膜片、氧化铝流延膜片、加热器叠层热压并一次共烧成一体.与
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十九研究所,哈尔滨150001
【出 处】
：
第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
本文采用氧化铝氧化锆高温共烧结陶瓷技术制备了一种极限电流型氧传感器,将8mol％氧化钇稳定的氧化锆固体电解质流延膜片、氧化铝流延膜片、加热器叠层热压并一次共烧成一体.与传统共烧结制作工艺相比,采用氧化铝流延膜片替代丝网印刷的氧化铝厚膜制作绝缘层,因而具有更好的绝缘性.制作的传感器加热功率为1.8W,工作电压为1.6V,测量范围为1％O2～95％O2,精度小于±0.5％,响应时间小于8s.传感器的输出电流长期稳定,在空气中830天的变化量小于初始值的2％,对应的氧浓度变化量在0.4％以内.
其他文献
微型气相色谱柱改变传统色谱柱体积大,功耗高的特征,通过微电子机械系统将微电子与精密机械加工两种技术结合,实现气相色谱柱以及系统仪器的微型化,便携化,以满足仪器在复杂
芳香族有机挥发物(VOC)的检测对提高环境质量和医疗诊断有重大意义.固态电化学传感器已被广泛应用于气体检测中,然而该类传感器存在检测线不够,受湿度影响较大的问题,无法胜
拾振器簧片是短周期地震计的敏感元件,其固有频率影响地震计的测量性能.针对短周期地震计拾振器簧片结构参数设计问题,采用有限元软件ANSYS和SOLIDWORKS对拾振器簧片结构参数
实时监测管路中真空度的真空计,采用电容器原理.但是,每隔固定时间,系统会途经该管路向真空环境瞬时释放压强为100kPa左右的气团,使真空计承受近1000倍的冲击过载,导致真空计
SPC即统计过程控制,是借助数理统计方法的过程控制工具.在压力敏感芯片生产工艺中对关键工艺实施SPC控制,可降低质量成本,提高产品的可靠性和成品率,保证产品生产过程的稳定
MHD角振动传感器利用惯性导电流体与内部静磁场之间的相对运动形成感应电势的特性,实现角振动运动的检测,但对应的感应电势为微小交变电势信号,直接检测放大有—定的难度.本
针对智能电网中高压开关的智能化需要,采用传感器技术和嵌入式系统技术的SF6气体状态监测智能传感器实现了GIS中SF6气体状态的实时监测.为满足电力行业相关规程的要求,温度传
Electrostatic comb-drive MEMS relays have attracted numerous efforts of researchers for its advantages of low power,easy fabrication and low actuation volta
本文介绍了有机复合纳米导电材料的一般成分、最佳组成,阐述了渗流理论、量子力学的隧道效应理论等导电机理,研究了该材料的正温度系数、电阻机械效应和气敏效应等特性,以及
采用基于有机模板的溶液浸渍—无损转移法制备氧化锌(ZnO)微纳多孔有序薄膜,研究了在不同紫外光强度照射下和不同尺寸孔径的氧化锌(ZnO)微纳多孔有序薄膜对二氧化氮(NO2)气敏