锆钛酸铅铁电薄膜的溶胶-凝胶制备工艺研究

来源 :第十五届全国电介质、材料与应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shijipan

【摘要】

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锆钛酸铅薄膜因其具有优良的压电和铁电性受到广泛关注.溶胶-凝胶匀胶法是制备铁电薄膜的一种重要方法.本文采用溶胶-凝胶匀胶法制备锆钛酸铅铁电薄膜,通过对干凝胶热分析初步确定出锆钛酸铅薄膜的热处理制度,在此基础上研究了前驱体影响因素(如有机溶剂、前驱单体加入顺序、添加剂)、溶胶影响因素(如溶胶浓度、pH 值)、匀胶制度和退火温度对成膜质量及薄膜形貌的影响,从而确定出了锆钛酸铅薄膜的最佳制备工艺条件.

【作者】

：

蔡苇陈晓勇符春林高荣礼邓小玲陈刚

【机构】

：

冶金与材料工程学院,重庆科技学院,重庆,401331;纳微复合材料与器件重庆市重点实验室,重庆科技学院,重庆,401331

【出处】

：

第十五届全国电介质、材料与应用学术会议

【发表日期】

：

2014年5期

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