【摘 要】
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本文利用高真空离子束溅射沉积系统在室温下制备了ZrB2、BN和一系列ZrB2/BN纳米多层膜,利用XRD、接触角测定仪、表面轮廓仪以及纳米力学测试系统等仪器分析了调制周期对薄膜的晶体结构和机械性能的影响。结果表明：多层膜具有周期性良好的调制结构,大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值,当调制周期为7.3砌时,多层膜硬度达到最高值(约27 GPa)。该薄膜同时具有较好的疏水
【机 构】
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天津师范大学,物理与电子信息学院,天津,300387
【出 处】
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二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛
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本文利用高真空离子束溅射沉积系统在室温下制备了ZrB2、BN和一系列ZrB2/BN纳米多层膜,利用XRD、接触角测定仪、表面轮廓仪以及纳米力学测试系统等仪器分析了调制周期对薄膜的晶体结构和机械性能的影响。结果表明：多层膜具有周期性良好的调制结构,大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值,当调制周期为7.3砌时,多层膜硬度达到最高值(约27 GPa)。该薄膜同时具有较好的疏水性,高的模量,低的表面粗糙度和摩擦系数。
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