【摘 要】
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采用射频磁控溅射技术在石英玻璃上沉积TiNi薄膜。利用XRD、SEM、EDS、台阶仪和纳米压痕仪、划痕仪等测试方法研究了溅射态原位加热对TiNi薄膜的组织结构、化学成分及力学性
【机 构】
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南京航空航天大学,江苏南京 210016
【出 处】
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第四届全国非晶合金及其复合材料学术会议
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采用射频磁控溅射技术在石英玻璃上沉积TiNi薄膜。利用XRD、SEM、EDS、台阶仪和纳米压痕仪、划痕仪等测试方法研究了溅射态原位加热对TiNi薄膜的组织结构、化学成分及力学性能的影响。结果表明,溅射态原位加热至500℃可直接获得具有晶化织构的TiNi薄膜,其弹性模量为64.9 GPa,变形能效率η为36.7％,薄膜与基体的临界结合力为35.26N。
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