【摘 要】
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本文主要介绍硼掺杂金刚石膜的生长。采用热灯丝CVD 法在硅上制备了金刚石薄膜，采用三氧化二硼制备了硼掺杂金刚石膜。利用拉曼光谱分析了硼掺杂金刚石膜的生长情况。发现硼掺杂金刚石膜在硅衬底上的生长速度明显低于纯金刚石，并且晶粒明显变小。利用掩膜法在本征金刚石薄膜上择性生长掺杂金刚石。
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本文主要介绍硼掺杂金刚石膜的生长。采用热灯丝CVD 法在硅上制备了金刚石薄膜，采用三氧化二硼制备了硼掺杂金刚石膜。利用拉曼光谱分析了硼掺杂金刚石膜的生长情况。发现硼掺杂金刚石膜在硅衬底上的生长速度明显低于纯金刚石，并且晶粒明显变小。利用掩膜法在本征金刚石薄膜上择性生长掺杂金刚石。
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