【摘 要】
：
涡轮分子泵是一种低振动的高速旋转机械，其涡轮等关键件设计的准确性直接关系到产品的性能和可靠性。本文以某型磁悬浮涡轮分子泵部分设计的实例，分析了涡轮的主要载荷和振动特性、涡轮分子泵在应用上的传热问题，同时针对试验过程中出现的问题，给出了相应的解决措施和思路，为涡轮分子泵的设计提供了参考。
【机 构】
：
北京中科科仪股份有限公司研发中心 北京 100190
论文部分内容阅读
涡轮分子泵是一种低振动的高速旋转机械，其涡轮等关键件设计的准确性直接关系到产品的性能和可靠性。本文以某型磁悬浮涡轮分子泵部分设计的实例，分析了涡轮的主要载荷和振动特性、涡轮分子泵在应用上的传热问题，同时针对试验过程中出现的问题，给出了相应的解决措施和思路，为涡轮分子泵的设计提供了参考。
其他文献
EAST-NBI漂移管道用于连接NBI与EAST,是整个NBI的最终环节,它对减少其内部的再电离损失,提高NBI的加热效率有着重要的意义。根据EAST-NBI的总体规划,要求中性束能够尽可能多的进入到EAST中,控制中性束在漂移管道的再电离损失,减少束线在漂移管道中的能量损失,在以上要求的基础上,对漂移管道进行设计。对漂移管道内的再电离损失进行研究,找出漂移管道内再电离损失的影响因素。研究结果表明
采用溶胶-凝胶法制备了Cu掺杂SnO2、ZnO薄膜，通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外可见分光光度计和伏安特性测试等研究了退火温度对Cu掺杂薄膜微观结构、表面形貌及光电特性的影响。
研究液态工质通过压扁型漏孔向真空泄漏的过程，对明确该状态下泄漏过程是否出现两相流状态，从而提高液体管路检漏工作的准确性和可靠性有着重要意义。以航天器环控生保系统中密封管路所用的液态工质(乙二醇)为研究对象，以金属压变形漏孔为物理模型，对液体从高压端向真空端泄漏进行流态、泄漏的相态、压力分布、流速变化进行理论分析，建立仿真模型，基于FLUENT流体分析软件对泄漏过程进行模拟仿真，得出各参数变化曲线。
粗低真空校准技术广泛应用于航空航天等高科技领域。中国航天科技集团公司五院510所建立的粗低真空校准装置的核心是数字活塞压力计，在30Pa-11kPa校准范围内采用了Furness公司的FRS5微压式数字活塞压力计作为主标准器。本文分析了FRS5微压式数字活塞压力计在绝压模式下的测量不确定来源，并对各项不确定度分量进行了评定，最后给出了测量不确定度。
本文采用多种工艺在钛合金基体上制备了不同疏水薄膜，通过AFM及SEM分析了薄膜的表面形貌，通过接触角测试法表征了薄膜的疏水性能和表面能，比较了不同表面粗糙度对薄膜疏水性能影响。试验结果表明随着薄膜纳米结构的增多和粗糙度变大，薄膜接触角变大，疏水性能得到改善，并且带有微纳复合结构的薄膜接触角提高的更多，通过相关工艺及参数的优化，使钛合金基体的接触角从70°提高到159°，实现了超疏水薄膜制备，这说明
在真空镀膜生产实践中，要求在球形工件内表面镀制薄膜的情况时有发生。如果采用CVD方法或者是蒸发镀膜方法，能够很容易地制成膜厚均匀性极好的膜层。但在要求必须采用溅射镀膜方法制备功能薄膜的情况下，由于溅射靶形状的限制，要在球形内表面获得均匀膜层则具有较大的难度。针对这一问题，本文提出了使用圆平面磁控溅射靶在球形工件内表面镀制薄膜的技术方案，设计了三种靶—基系统布置模式：对于半球形工件的直径尺寸接近于正
采用多弧离子镀技术,利用纯Ti靶及TiAl合金靶,在M2高速钢表面沉积高铝含量的Ti0.33Al0.67N单层涂层及TiN/Ti0.33Al0.67N多层结构涂层.在800℃时保温不同时间随炉冷却,用XRD、SEM、EMPA等检测手段对涂层氧化后的表面状态及物相结构进行表征,用电子天平对涂层氧化后增重进行对比.实验结果表明：Ti1-xAlxN单层结构及TiN/Ti1-xAlxN多层结构涂层氧化增重
随着计算机运算规模的不断扩大，通过数值模拟研究涂层相关性能的方法已经被广泛的采用。然而通过ANSYS等有限元软件的模拟，在运算过程中往往在获取涂层力学和材料等特性参数方面会遇到比较大的困难，因此通常采用体材料的相关性能参数替代实际采用的模型参数。当前，随着量子力学等领域的一些计算方法不断发展，通过分子模拟等微观数值计算可以方便我们探究材料微观结构和物理特性，获得材料的相关特性参数，从而为宏观实验的
基体-薄膜结构是微电子器件中的典型结构，尤其是金属薄膜已被广泛的应用到微电子器件上。金属薄膜在制备过程中产生的表面微裂纹对薄膜的力学性能有着较大的影响，并且表面微裂纹尖端扩展所导致的薄膜破裂，更是造成薄膜失效的主要形式，因此对金属薄膜表面微裂纹萌生行为的研究具有重要的意义。本文基于分子动力学，对连续载荷作用下的带有缺陷的铜金属薄膜进行模拟分析。计算得到了系统在拉伸方向上的应力-应变关系曲线。模拟结
This paper presents the study on the enhanced coherent THz Smith-Purcell superradiation excited by two modulated electron-beam passing through the 1-D sub-wavelength holes array.The results show that