【摘 要】
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微靶半自动装配技术主要包括：微操作技术、微夹持技术、在线检测技术、微装配等。本文主要在微夹持、显微图像在线检测、半自动装配系统等方面开展了研究。针对半自动装配系统
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900
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微靶半自动装配技术主要包括：微操作技术、微夹持技术、在线检测技术、微装配等。本文主要在微夹持、显微图像在线检测、半自动装配系统等方面开展了研究。针对半自动装配系统中微靶零件的固定与无损夹持，初步开展了靶零件微夹持技术研究，设计了基于四连杆机构原理的柱腔微夹持器和基于真空吸附原理的台阶样品作业工具。
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