声表面波压力传感器敏感基片优化选择准则研究

来源 :2013中国西部声学学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mj830115
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声表面波传感器的性能在很大程度上取决于制作延迟线或谐振器的压电基片.从声表面波压力传感器设计角度出发,系统性的提出了其敏感基片优化选择的基本准则.对各个准则的定义、含义和分析方法进行了详细说明.并以基于硅酸镓镧的声表面波压力传感器优化设计为例,对敏感基片切向进行了分析和优化选择.论文工作对声表面波压力传感器的优化设计具有一定的指导意义.
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