准分子激光器在材料加工领域的应用与发展

来源 :第九届亚洲(深圳)国际激光先进制造展&论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jinlu2010
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  本文介绍了美国相干公司的背景及其丰富的产品线。在讨论了准分子激光器在材料微加工领域具有的独特优势后,重点介绍采用准分子激光器实现的激光剥离系统在柔性显示屏以及高亮LED制备上的应用,以及基于准分子激光器的激光退火设备在高清显示屏制备上的应用。
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