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研究了可满足高压、高频动态响应的芯片及其封装结构的小型高温压力传感器。采用无引线倒封装技术,将芯片设计位于引压接口管腔的最前端,通过烧结工艺将芯片与引线基座烧结于一体,替代传统的键合引线工艺,再通过各种金属焊接技术将传感器各结构件进行组合焊接,最后通过温度补偿及信号修正使传感器输出稳定信号。
小型高温压力传感器技术研究
【摘 要】
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研究了可满足高压、高频动态响应的芯片及其封装结构的小型高温压力传感器。采用无引线倒封装技术,将芯片设计位于引压接口管腔的最前端,通过烧结工艺将芯片与引线基座烧结于一体,替代传统的键合引线工艺,再通过各种金属焊接技术将传感器各结构件进行组合焊接,最后通过温度补偿及信号修正使传感器输出稳定信号。
【机 构】
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南京特敏传感技术有限公司
【出 处】
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第十八届中国航空测控技术年会
【发表日期】
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2021年01期
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