【摘 要】
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三氟乙酸-金属有机沉积法(TFA-MOD)制备YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜的过程主要包括低温分解和高温晶化.传统过程,为了抑制裂纹等缺陷的形成,低温分解一般要十个小时以上.本文采用了降低前驱液中氟的含量的方法,制备了普通低氟、超低氟、极低氟等几种胶体,分别降低了前驱液中50％、70％及85％的氟含量,使低温分解时间缩短至30分钟以内,并获得平整无开裂的膜,在77K自场下的临界电流密度(J
【机 构】
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上海大学超导与应用技术研究中心,上海,200444
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三氟乙酸-金属有机沉积法(TFA-MOD)制备YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜的过程主要包括低温分解和高温晶化.传统过程,为了抑制裂纹等缺陷的形成,低温分解一般要十个小时以上.本文采用了降低前驱液中氟的含量的方法,制备了普通低氟、超低氟、极低氟等几种胶体,分别降低了前驱液中50％、70％及85％的氟含量,使低温分解时间缩短至30分钟以内,并获得平整无开裂的膜,在77K自场下的临界电流密度(Jc)能达到2.0 MA/cm2以上.
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