Research on Oxygen Concentration in the Clean Room of Semiconductor Factory Based on FLUENT

来源 :中国灾害防御协会风险分析专业委员会第八届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:whenhm
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  This paper simulates the diffusion of nitrogen in clean room.In GAMBIT,we establish a three-dimensional model,then set parameters in FLUENT.Finally,the FLUENT post-processing function and TECPLOT obtain the velocity vector diagram,nitrogen andoxygen distribution diagram and anoxic zone distribution map.The research shows that changing the ventilation structure can reduce the range of the hypoxia area thus ensure the health and safety of the work.
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